Частицы, царапины и металлические загрязнения: как задать требования
КраткоДля частиц указывают порог размера и допустимое количество, например не более 30 шт. размером ≥ 0,2 мкм; для металлов — перечень элементов и предел поверхностной концентрации, например Fe, Cu, Ni ≤ 1E10 ат/см² каждого; а также метод контроля и ширину краевого исключения. Формулировки «без дефектов» или «высокая чистота» не проверяются при приёмке.
Как задать требования к частицам?
| Продукция | Типичный порог | Типичный предел для prime |
|---|---|---|
| Кремний 150 мм | ≥ 0,2 мкм | ≤ 30 шт. |
| Кремний 200 мм | ≥ 0,12 мкм | ≤ 30 шт. |
| Кремний 300 мм | меньше, по спецификации | по спецификации |
Типичные значения; итог — по спецификации производителя.
Частицы измеряют методом лазерного рассеяния (LPD). Согласуйте порог размера, правило подсчёта и краевое исключение.
Как задать требования к металлам?
| Пункт | Типичная запись |
|---|---|
| Метод | TXRF или VPD-ICP-MS |
| Элементы | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn, Na, Al и др. |
| Единицы | ат/см² |
| Кремний prime | ≤ 1E10 ат/см² каждого элемента |
| Подложки SiC | ≤ 5E10 ат/см² |
Как задать требования к царапинам?
Визуальный контроль при ярком свете: максимальная длина и количество царапин, допустимость сколов кромки. Для тестовых и dummy-пластин требования обычно мягче или отсутствуют.
Вопросы
Нужны ли требования к частицам для тестовых пластин?
Для мониторных — да; для dummy обычно нет.