SiC · 200 мм · 4H-N
Проводящие подложки 4H-SiC 200 мм
Подложки 8 дюймов 4H-N толщиной 500 мкм с notch — для освоения и отработки 200-мм технологии SiC.
Ø200 мм4H-N500 мкмNotch
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Производственный | Dummy |
|---|---|---|
| Политип / примесь | 4H, n-тип (азот) | то же |
| Диаметр | 200,0 ± 0,2 мм | то же |
| Толщина | 500 ± 25 мкм | то же |
| Ориентация поверхности | 4,0° к 〈11-20〉 ± 0,5° | то же |
| Notch | [1-100] ± 5° | то же |
| Удельное сопротивление | 0,015–0,025 Ом·см | то же |
| Плотность микропор (MPD) | ≤ 0,5 см⁻² | ≤ 5 см⁻² |
| TTV | ≤ 5 мкм | ≤ 10 мкм |
| Прогиб (bow) | ≤ 15 мкм | ≤ 25 мкм |
| Коробление (warp) | ≤ 25 мкм | ≤ 60 мкм |
| Шероховатость | Si-грань, CMP, Ra ≤ 0,2 нм | — |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по классу и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по классу и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Классы
Классы подложек SiC
| Класс | Отличие | Назначение |
|---|---|---|
| Производственный (P) | Самые строгие требования к микропорам, дислокациям и дефектам | Серийные приборы |
| Исследовательский (R) | Требования к дефектам мягче | Разработка, исследования |
| Dummy (D) | Гарантируются в основном геометрические параметры | Настройка оборудования |
Пороговые значения у производителей различаются; определение классов производителя прикладываем к предложению.
Применение
Типичное применение
Линии SiC 200 мм
Отработка процессов и выхода годных.
Эпитаксия
Освоение эпитаксии 200 мм.
Оборудование
Наладка оборудования под 200 мм.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Сроки поставки?
Обычно больше, чем для 150 мм; зависят от загрузки производителя.