Качество
Качество: что проверяем и какие документы получаете
Требования, пороги и методы контроля фиксируем до заказа. Состав документов производителя — COA, COC и др. — согласуем при расчёте.
Сверка спецификацииДокументы производителяОпределения классов
Как мы работаем с качеством
ДО ЗАКАЗА
Сверка спецификации
Сопоставляем ваши требования с параметрами производителя и письменно указываем отклонения.
ДОКУМЕНТЫ
Данные производителя
Согласуем, какие документы прилагаются к партии: COA, COC, сертификат происхождения и др.
ПРЕТЕНЗИИ
Несоответствие
Порядок и сроки рассмотрения претензий фиксируем в договоре.
Методы
Параметры и методы контроля
| Параметр | Типичный метод | Что согласовать |
|---|---|---|
| Толщина, TTV | ёмкостный измеритель плоскостности | допуск, точки измерения |
| Прогиб, коробление | ёмкостный / лазерное сканирование | максимум, условия измерения |
| Сопротивление | четырёхзондовый метод, бесконтактный (вихретоковый) | диапазон, радиальная равномерность |
| Частицы (LPD) | лазерное рассеяние | порог размера, допустимое количество |
| Металлы | TXRF, VPD-ICP-MS | перечень элементов, предел в ат/см² |
| Кристаллические дефекты | селективное травление + микроскопия | COP, OSF, дислокации |
| Микропоры SiC | поляризованный свет / сканирование дефектов | предел MPD |
Типы пластин
Исходные, регенерированные, эпитаксиальные
| Тип | Описание | Применение |
|---|---|---|
| Исходные (virgin) | впервые изготовленные полированные пластины | prime, тестовые |
| Регенерированные (reclaim) | после использования: снятие плёнок, утонение, повторная полировка | dummy, частично тестовые |
| Эпитаксиальные | подложка с выращенным монокристаллическим слоем | силовые приборы, КМОП |
Единого межзаводского стандарта классов нет. К предложению прикладываем определение класса и критерии приёмки производителя.