Кремний · 200 мм
Кремниевые пластины 200 мм (8 дюймов)
Пластины CZ с notch, односторонняя или двусторонняя полировка — для зрелых технологий: аналоговые схемы, управление питанием, датчики.
Ø200 ммCZNotchКДБ · КЭФ
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Доступно для запроса |
|---|---|
| Диаметр | 200,0 ± 0,2 мм |
| Метод выращивания | CZ |
| Тип проводимости / примесь | p-тип: B; n-тип: P, As, Sb |
| Ориентация | (100) ± 0,5° |
| Удельное сопротивление | 0,001–100 Ом·см (зависит от примеси) |
| Толщина | 725 ± 20 мкм (SEMI) |
| Ориентирующий элемент | Notch |
| Поверхность | SSP / DSP |
| TTV | ≤ 5 мкм (типично); ≤ 2 мкм по запросу |
| Коробление (warp) | ≤ 40 мкм (типично) |
| Частицы | ≤ 30 шт. ≥ 0,12 мкм (типично для prime) |
| Металлы на поверхности | ≤ 1E10 ат/см² (типично для prime) |
| Класс | Prime / Test / Monitor / Dummy |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по спецификации и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по спецификации и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
ГОСТ ↔ SEMI
Примеры маркировки
| Запись по ГОСТ | Значение | Запись по SEMI |
|---|---|---|
| КДБ-10 (100) Ø200 | p-тип, бор, 10 Ом·см | P / B, (100), 8–12 Ом·см |
| КЭФ-7,5 (100) Ø200 | n-тип, фосфор, 7,5 Ом·см | N / P, (100), 5–10 Ом·см |
| КЭМ-0,003 (100) Ø200 | n-тип, сильнолегированный мышьяком | N+ / As, (100), ≤ 0,005 Ом·см |
К — кремний; Д / Э — дырочный / электронный тип; Б / Ф / С / М — бор / фосфор / сурьма / мышьяк; число — номинальное сопротивление, Ом·см. Подробнее →
Фото
Применение
Типичное применение
Аналоговые схемы и питание
Линии BCD и КМОП зрелых технологий.
Датчики
КМОП-фотоприёмники, МЭМС.
Переход на 200 мм
Отработка процессов при переходе со 150 мм.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Есть ли сильнолегированные подложки под эпитаксию?
Да, легирование As и Sb — под заказ.
Можно сначала получить образцы?
Да, обсуждаем по запросу.