Кремниевые пластины 150 и 200 мм
Монокристаллические пластины CZ и FZ, p- и n-типа: prime, тестовые, с плёнками и эпитаксиальные. Основные диаметры — 150 и 200 мм; 300 мм — по запросу.
Выберите позицию
Кремниевые пластины 150 мм
CZ / FZ, p- и n-тип, (100) и (111), базовый срез по SEMI, SSP или DSP.
Параметры →
Кремниевые пластины 200 мм
CZ, notch, толщина 725 мкм — для аналоговых, силовых и сенсорных линий.
Параметры →
Тестовые, мониторные и dummy
Для отработки процессов, контроля и загрузки оборудования, включая регенерированные.
Параметры →Эпитаксиальные структуры Si
Толщина и сопротивление эпитаксиального слоя — по спецификации.
Параметры →
Пластины с плёнками и КНИ
Термический SiO₂, нитрид кремния LPCVD, металлизация, КНИ (SOI) — по запросу.
Параметры →Пластины 300 мм
Тестовые и мониторные пластины по запросу; возможность поставки подтверждаем отдельно.
Параметры →Сравнение параметров
| Параметр | 150 мм | 200 мм | 300 мм (по запросу) |
|---|---|---|---|
| Метод выращивания | CZ / FZ | CZ | CZ |
| Ориентация | (100) / (111) | (100) | (100) |
| Толщина по SEMI | 675 ± 20 мкм | 725 ± 20 мкм | 775 ± 20 мкм |
| Ориентирующий элемент | Базовый срез | Notch | Notch |
| Поверхность | SSP / DSP | SSP / DSP | DSP |
| Классы | Prime / Test / Dummy | Prime / Test / Dummy | Test / Monitor / Dummy |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Вопросы
Какая минимальная партия?
Зависит от позиции; образцы и небольшие партии обсуждаем по запросу.
Есть ли пластины FZ?
Пластины FZ 150 мм — по запросу; сроки поставки обычно больше, чем у CZ.
Есть ли регенерированные пластины?
Да, по запросу — как dummy и, в отдельных случаях, для мониторинга.