Кремниевая эпитаксия
Эпитаксиальные структуры кремния
Структуры N/N+, P/P+: толщина эпитаксиального слоя 1–150 мкм, сопротивление по спецификации; к поставке прикладываются карты толщины и сопротивления (по согласованию с производителем).
150 / 200 ммN/N+P/P+
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Доступно для запроса |
|---|---|
| Подложка | N+ (As / Sb / P) или P+ (B) |
| Толщина эпитаксиального слоя | 1–150 мкм |
| Равномерность толщины | ≤ 3 % |
| Сопротивление слоя | 0,1–100 Ом·см |
| Равномерность сопротивления | ≤ 5 % |
| Дефекты | линии скольжения, дефекты упаковки — по спецификации |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по структуре и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по структуре и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Пример записи: КЭФ 7,5 / КЭС 0,01 — эпитаксиальный слой n-типа (фосфор) 7,5 Ом·см на подложке n-типа (сурьма) 0,01 Ом·см.
Применение
Типичное применение
Силовые MOSFET
Структуры N/N+.
Биполярные и аналоговые
По технологии заказчика.
Диоды Шоттки
Тонкий эпитаксиальный слой на низкоомной подложке.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Сроки поставки?
Обычно больше, чем для полированных пластин; уточняем при расчёте.