SiC · эпитаксия
Эпитаксиальные структуры SiC
N-эпитаксия на подложках 4H-N для приборов 650–3300 В; толщина и легирование по спецификации, карты толщины и концентрации — по согласованию с производителем.
150 / 200 ммN-epi
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Доступно для запроса |
|---|---|
| Подложка | 4H-N 150 / 200 мм |
| Толщина слоя | 5–50 мкм (типично); толще — по запросу |
| Равномерность толщины | ≤ 3 % |
| Концентрация примеси | 5E14–1E19 см⁻³ (дрейфовый слой обычно 1E15–2E16 см⁻³) |
| Равномерность концентрации | ≤ 8 % |
| Дефекты | треугольные, «морковь», BPD — по спецификации |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по структуре и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по структуре и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Толщина дрейфового слоя и напряжение прибора
| Класс напряжения | Типичная толщина |
|---|---|
| 650 В | ≈ 5–6 мкм |
| 1200 В | ≈ 10–13 мкм |
| 1700 В | ≈ 15–20 мкм |
| 3300 В | ≈ 30–35 мкм |
Конкретные значения определяются конструкцией прибора.
Применение
Типичное применение
650 В
Бортовые зарядные устройства, источники питания.
1200 В
Тяговые и солнечные инверторы.
3300 В
Транспорт, энергетика.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Как выбрать толщину слоя?
По классу напряжения прибора — см. таблицу выше.