Кремний · 150 мм
Кремниевые пластины 150 мм (6 дюймов)
Монокристаллические пластины CZ и FZ, p- и n-типа, ориентация (100) и (111), базовый срез по SEMI, односторонняя или двусторонняя полировка.
Ø150 ммCZ / FZSSP / DSPКДБ · КЭФ · КЭС
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Доступно для запроса |
|---|---|
| Диаметр | 150,0 ± 0,2 мм |
| Метод выращивания | CZ; FZ (высокоомные, для силовых приборов) |
| Тип проводимости / примесь | p-тип: B; n-тип: P, As, Sb |
| Ориентация | (100), (111) ± 0,5°; разориентация по запросу |
| Удельное сопротивление | 0,001–100 Ом·см (зависит от примеси); FZ — свыше 1000 Ом·см |
| Толщина | 675 ± 20 мкм (SEMI); 625 мкм и др. по запросу |
| Базовый срез | основной 57,5 ± 2,5 мм; дополнительный — по типу и ориентации |
| Поверхность | односторонняя (SSP) или двусторонняя (DSP) полировка |
| TTV | ≤ 5 мкм (типично); ≤ 2 мкм по запросу |
| Коробление (warp) | ≤ 40 мкм (типично) |
| Частицы | ≤ 30 шт. ≥ 0,2 мкм (типично для prime) |
| Класс | Prime / Test / Monitor / Dummy |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по спецификации и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по спецификации и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
ГОСТ ↔ SEMI
Примеры маркировки
| Запись по ГОСТ | Значение | Запись по SEMI |
|---|---|---|
| КДБ-10 (100) | p-тип, бор, 10 Ом·см, (100) | P / B, (100), 8–12 Ом·см |
| КЭФ-4,5 (100) | n-тип, фосфор, 4,5 Ом·см, (100) | N / P, (100), 4–5 Ом·см |
| КЭС-0,01 (111) | n-тип, сурьма, 0,01 Ом·см, (111) | N / Sb, (111), 0,008–0,02 Ом·см |
| КДБ-0,005 (100) | p-тип, сильнолегированный бором | P+ / B, (100), 0,001–0,005 Ом·см |
К — кремний; Д / Э — дырочный / электронный тип; Б / Ф / С / М — бор / фосфор / сурьма / мышьяк; число — номинальное сопротивление, Ом·см. Подробнее →
Фото
Применение
Типичное применение
Силовые приборы
MOSFET, IGBT, диоды: сильнолегированные n+ подложки под эпитаксию, высокоомные FZ.
МЭМС и датчики
Пластины DSP (100) для датчиков давления и инерциальных датчиков.
НИОКР
Отработка технологии в институтах и вузах.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Какая минимальная партия?
Зависит от позиции; образцы обсуждаем по запросу.
Есть ли ориентация (111)?
Да, обычно под заказ.
Сроки для FZ?
Обычно больше, чем для CZ; зависят от требуемого сопротивления.