Test · Monitor · Dummy
Тестовые, мониторные и dummy-пластины
Для отработки процессов, контроля параметров, загрузки оборудования и заполнения печей. Требования ниже, чем к prime, цена ниже; поставляем также регенерированные пластины.
150 / 200 / 300 ммTestMonitorDummyReclaim
Параметры
Технические параметры
| Класс | Назначение | Что обычно гарантируется |
|---|---|---|
| Тестовые (Test) | Отработка процессов, проверка оборудования | Размеры, толщина, тип; сопротивление — в диапазоне |
| Мониторные (Monitor) | Контроль толщины плёнок, частиц, металлов | Частицы и плоскостность по спецификации |
| Dummy | Загрузка оборудования, заполнение печей | Диапазон размеров и толщины |
| Регенерированные (Reclaim) | Dummy, частично мониторные | Повторная полировка; толщина меньше исходной |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по партии. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по партии. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Применение
Типичное применение
Контроль процессов
Измерение толщины и частиц после осаждения, травления, очистки.
Наладка оборудования
Проверка транспорта пластин после установки и ремонта.
Печи
Заполнение позиций в диффузионных и окислительных печах.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Чем тестовые отличаются от prime?
Диапазоном гарантируемых параметров: частиц, сопротивления, плоскостности. Подробнее: сравнение классов.
Подходят ли регенерированные пластины для мониторинга?
Частично — в зависимости от спецификации.