Плёнки и КНИ
Пластины с плёнками и КНИ (SOI)
Термический SiO₂, нитрид кремния LPCVD, диэлектрики PECVD и металлизация на кремниевых пластинах; пластины КНИ. Толщина плёнки — по вашему заданию.
SiO₂Si₃N₄Al / Cu / W / TiКНИ
Параметры
Технические параметры
| Плёнка | Процесс | Толщина | Равномерность |
|---|---|---|---|
| SiO₂ | термическое окисление (сухое / влажное) | 10 нм – 3 мкм | ≤ 3 % |
| Si₃N₄ | LPCVD (стехиометрический) | 50–300 нм | ≤ 3 % |
| SiNx с низкими напряжениями | LPCVD | по запросу | ≤ 5 % |
| SiO₂ / SiN | PECVD, PETEOS | 100 нм – 2 мкм | ≤ 5 % |
| Al / Cu / W / Ti | PVD / гальваника | по спецификации | ≤ 5 % |
| КНИ (SOI) | бондинг / SIMOX | приборный слой 0,1–100 мкм | по спецификации |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по плёнке, толщине и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по плёнке, толщине и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Применение
Типичное применение
НИОКР
Разработка тонкоплёночных процессов.
МЭМС
Жертвенные и изолирующие слои.
Метрология
Приёмка оборудования и калибровка.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Окисел наносится с двух сторон?
Термический окисел растёт с обеих сторон; обратную сторону можно стравить по запросу.