SiC · 150 мм · 4H-N
Проводящие подложки 4H-SiC 150 мм
4H-SiC n-типа (азот), 4° к 〈11-20〉, CMP-полировка Si-грани. Для SiC MOSFET, диодов Шоттки и других силовых приборов. Классы P, R, D.
Ø150 мм4H-N4° offP / R / D
Параметры
Технические параметры
| Параметр | Доступно для запроса |
|---|---|
| Политип / примесь | 4H, n-тип (азот) |
| Диаметр | 150,0 ± 0,25 мм |
| Толщина | 350 ± 25 мкм; 500 мкм по запросу |
| Ориентация поверхности | 4,0° к 〈11-20〉 ± 0,5° |
| Основной срез | 47,5 ± 1,5 мм |
| Удельное сопротивление | 0,015–0,025 Ом·см |
| Плотность микропор (MPD) | P ≤ 0,5 см⁻²; R ≤ 5 см⁻² |
| TTV | ≤ 10 мкм; для P по запросу ≤ 5 мкм |
| Прогиб (bow) | ≤ 30 мкм |
| Коробление (warp) | ≤ 45 мкм |
| Шероховатость | Si-грань, CMP, Ra ≤ 0,2 нм |
| Металлы на поверхности | ≤ 5E10 ат/см² |
Окончательные параметры — по спецификации производителя.
Цена
Цену рассчитываем по классу и количеству. От чего зависит цена →
Цену рассчитываем по классу и количеству. От чего зависит цена →
Как заказать
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Отправьте марку или спецификацию — подтвердим возможность поставки, цену и сроки. Отправить запрос →
Классы
Классы подложек SiC
| Класс | Отличие | Назначение |
|---|---|---|
| Производственный (P) | Самые строгие требования к микропорам, дислокациям и дефектам | Серийные приборы |
| Исследовательский (R) | Требования к дефектам мягче | Разработка, исследования |
| Dummy (D) | Гарантируются в основном геометрические параметры | Настройка оборудования |
Пороговые значения у производителей различаются; определение классов производителя прикладываем к предложению.
Применение
Типичное применение
SiC MOSFET
Приборы 650–1700 В.
Диоды Шоттки
Структуры SBD и JBS.
Эпитаксия
Подложки для эпитаксии SiC.
Упаковка и документы
- Кассета на 25 пластин или контейнер для одной пластины (для 300 мм — FOSB); чистый пакет с вакуумной или азотной упаковкой; транспортная коробка
- Инвойс и упаковочный лист
- COA и другие документы производителя — состав уточняем при расчёте
Вопросы
Можно получить данные по дислокациям?
EPD, BPD, TSD — если их предоставляет производитель; уточняем при расчёте.