Глоссарий терминов по пластинам (рус. / англ. / кит.)
Кратко20 самых употребительных терминов при закупке кремниевых пластин и подложек SiC — на русском, английском и китайском, чтобы инженеры, закупщики и производители одинаково понимали спецификацию.
Основные термины
| Русский | English | 中文 | Значение |
|---|---|---|---|
| метод Чохральского | CZ | 直拉法 | основной метод выращивания монокристалла |
| бестигельная зонная плавка | FZ | 区熔法 | высокоомный кремний с низким содержанием кислорода |
| рабочая пластина | Prime | 正片 | для изготовления приборов |
| тестовая пластина | Test | 测试片 | отработка процессов |
| мониторная пластина | Monitor | 监控片 | контроль процессов |
| технологическая пластина | Dummy | 挡片 | загрузка оборудования |
| регенерированная пластина | Reclaim | 再生片 | повторно отполированная |
| эпитаксиальный слой | Epi | 外延层 | слой, выращенный на подложке |
| КНИ (кремний на изоляторе) | SOI | 绝缘体上硅 | структура кремний — изолятор — кремний |
| односторонняя / двусторонняя полировка | SSP / DSP | 单抛 / 双抛 | число полированных сторон |
| базовый срез | Flat | 参考面 | ориентирующий элемент 150 мм и менее |
| выемка | Notch | 缺口 | ориентирующий элемент 200 / 300 мм |
| разнотолщинность | TTV | 总厚度变化 | разница максимальной и минимальной толщины |
| прогиб | Bow | 弯曲度 | изгиб в центре |
| коробление | Warp | 翘曲度 | общее искривление |
| светорассеивающие дефекты | LPD | 光点缺陷 | частицы и дефекты, найденные лазером |
| окислительные дефекты упаковки | OSF | 氧化层错 | кристаллические дефекты |
| плотность микропор | MPD | 微管密度 | ключевой дефект SiC |
| сертификат анализа | COA | 检测报告 | фактические данные по партии |
| краевое исключение | Edge exclusion | 边缘去除 | кромка, не учитываемая при контроле |
Вопросы
Чем COA отличается от COC?
COA содержит фактические результаты измерений партии, COC — декларация соответствия.