Маркировка кремниевых пластин: КДБ, КЭФ, КЭС
Из чего состоит марка?
| Позиция | Буква | Значение |
|---|---|---|
| 1 | К | кремний |
| 2 | Д / Э | дырочный (p-тип) / электронный (n-тип) |
| 3 | Б / Ф / С / М | бор / фосфор / сурьма / мышьяк |
| Число | 10 | номинальное удельное сопротивление, Ом·см |
Четыре основные марки
| Марка | Тип проводимости | Легирующая примесь | Расшифровка |
|---|---|---|---|
| КДБ | p-тип | бор (B) | кремний дырочный, легированный бором |
| КЭФ | n-тип | фосфор (P) | кремний электронный, легированный фосфором |
| КЭС | n-тип | сурьма (Sb) | кремний электронный, легированный сурьмой |
| КЭМ | n-тип | мышьяк (As) | кремний электронный, легированный мышьяком |
Число после марки — номинальное удельное сопротивление, Ом·см.
Как записать то же по SEMI?
Марка описывает только тип, примесь и сопротивление. Для заказа нужны также ориентация, диаметр, толщина, поверхность и плоскостность — в спецификации SEMI их указывают отдельными пунктами.
| Запись по ГОСТ | Запись по SEMI |
|---|---|
| КДБ-10 (100), Ø150, 675 мкм, SSP | P / B, (100), 8–12 Ом·см, 150 мм, 675 ± 20 мкм, SSP |
| КЭФ-4,5 (100), Ø150 | N / P, (100), 4–5 Ом·см, 150 мм |
| КЭС-0,01 (111) | N / Sb, (111), 0,008–0,02 Ом·см |
Это пример записи, а не полное соответствие стандартов: каждое требование вашей спецификации мы сверяем отдельно.
Число в марке — точное значение?
Нет, это номинал; фактически поставляется диапазон. В запросе лучше указать допустимые границы, например «КДБ-10, 8–12 Ом·см».
Вопросы
КДБ — это p-тип?
Да, КДБ — кремний p-типа, легированный бором.
Чем КЭС отличается от КЭФ?
Оба n-типа. КЭС легирован сурьмой и чаще применяется для сильнолегированных низкоомных подложек; КЭФ легирован фосфором и охватывает средне- и высокоомный диапазон.
Можно отправить запрос просто по марке?
Да. Мы переведём марку в запись SEMI и сверим остальные требования.