Полированные и эпитаксиальные пластины: в чём разница
КраткоПолированная пластина — вырезанный, шлифованный и полированный монокристалл. Эпитаксиальная — та же пластина с выращенным сверху монокристаллическим слоем, толщина, легирование и сопротивление которого могут отличаться от подложки. Эпитаксию применяют в силовых приборах и в КМОП с пониженной дефектностью; в запросе нужно отдельно указать параметры слоя.
Чем они отличаются?
| Параметр | Полированная | Эпитаксиальная |
|---|---|---|
| Структура | одна подложка | подложка + эпитаксиальный слой |
| Задаётся | сопротивление, толщина, плоскостность | дополнительно толщина, сопротивление и равномерность слоя |
| Применение | КМОП, МЭМС, тестовые | силовые MOSFET, IGBT, диоды, КМОП |
| Сроки | короче | обычно дольше |
Что указать для эпитаксиальной структуры?
| Параметр | Пример |
|---|---|
| Подложка | N+ / Sb, 0,01–0,02 Ом·см, (111) |
| Тип слоя | n |
| Толщина слоя | 10 ± 0,5 мкм |
| Сопротивление слоя | 5 ± 0,5 Ом·см |
| Равномерность | толщина ≤ 3 %, сопротивление ≤ 5 % |
| Запись по ГОСТ | КЭФ 5 / КЭС 0,01 |
Вопросы
Будут ли карты толщины и сопротивления?
По согласованию с производителем.