Prime, test, monitor и dummy: чем отличаются классы пластин
КраткоPrime — пластины для изготовления приборов с самыми строгими гарантиями параметров; test — для отработки процессов и проверки оборудования; monitor — для контроля толщины плёнок, частиц и металлов; dummy — для загрузки оборудования и заполнения печей, гарантируются в основном размеры. Пороги у производителей различаются — ориентируйтесь на письменные критерии приёмки.
Что означает каждый класс?
| Класс | Назначение |
|---|---|
| Prime | изготовление приборов |
| Test | отработка процессов, проверка оборудования |
| Monitor | контроль толщины плёнок, частиц, металлов |
| Dummy | загрузка оборудования, заполнение печей |
| Reclaim (регенерированные) | dummy, частично мониторные |
Какие параметры обычно гарантируются?
| Параметр | Prime | Test / Monitor | Dummy |
|---|---|---|---|
| Сопротивление | по спецификации | в диапазоне | обычно не гарантируется |
| Частицы | по спецификации | monitor — по спецификации | обычно не гарантируются |
| Плоскостность | по спецификации | мягче | обычно не гарантируется |
| Дефекты поверхности | строго | допускаются отдельные | допускаются |
Как выбрать?
Главный вопрос — станет ли пластина прибором. Если да — prime; если она нужна только для измерения результата процесса — test или monitor; если для загрузки и наладки — dummy или reclaim. На многих линиях тестовых и dummy-пластин расходуется больше, чем prime, поэтому здесь проще всего снизить затраты.
Вопросы
Можно ли использовать тестовые пластины для приборов?
Не рекомендуется: для них не гарантируются частицы и сопротивление на уровне prime.
К какому классу относятся регенерированные пластины?
Обычно dummy; часть пластин высокого класса подходит для мониторинга.