Односторонняя (SSP) и двусторонняя (DSP) полировка
КраткоУ пластин SSP отполирована одна сторона, обратная — травлёная; этого достаточно для большинства планарных процессов. У DSP отполированы обе стороны, выше плоскостность — нужны для МЭМС, бондинга, литографии с обратной стороны и оптики; стоят дороже. Пластины 300 мм обычно DSP.
Чем отличаются SSP и DSP?
| Параметр | SSP | DSP |
|---|---|---|
| Обратная сторона | травлёная | полированная |
| Плоскостность | стандартная | выше, TTV меньше |
| Применение | КМОП, силовые, стандартные процессы | МЭМС, бондинг, двусторонняя литография, оптика |
| Цена | ниже | выше |
Когда нужна DSP?
- Литография или совмещение с обратной стороны
- Бондинг пластин, изготовление КНИ
- Пропускание ИК-излучения, оптический контроль
- Жёсткие требования к TTV
Вопросы
Как это указать в запросе?
«SSP» или «DSP» — либо «односторонняя / двусторонняя полировка».