TTV, прогиб (bow) и коробление (warp): что это и как задать
КраткоTTV (разнотолщинность) — разница между максимальной и минимальной толщиной пластины. Прогиб (bow) — отклонение центра срединной поверхности от опорной плоскости. Коробление (warp) — сумма максимальных положительного и отрицательного отклонений срединной поверхности. Допуски и методы измерения нужно зафиксировать в спецификации.
Что означает каждый параметр?
| Параметр | Англ. | Определение |
|---|---|---|
| Разнотолщинность | TTV | максимальная толщина − минимальная |
| Прогиб | bow | отклонение центра срединной поверхности от опорной плоскости |
| Коробление | warp | сумма максимальных положительного и отрицательного отклонений срединной поверхности |
Типичные требования
| Продукция | TTV | Bow | Warp |
|---|---|---|---|
| Кремний prime 150 мм | ≤ 5 мкм | по спецификации | ≤ 40 мкм |
| Кремний prime 200 мм | ≤ 5 мкм | по спецификации | ≤ 40 мкм |
| SiC 4H-N 150 мм | ≤ 10 мкм | ≤ 30 мкм | ≤ 45 мкм |
| SiC 4H-N 200 мм (производственный) | ≤ 5 мкм | ≤ 15 мкм | ≤ 25 мкм |
Типичные значения; итог — по спецификации производителя.
Как зафиксировать в спецификации?
Укажите максимальные значения, тип прибора (ёмкостный или лазерное сканирование), условия измерения и ширину краевого исключения. Формулировка «хорошая плоскостность» не проверяется при приёмке.
Вопросы
Что важнее — bow или warp?
Для литографии и бондинга обычно warp: он описывает форму пластины в целом.