Кремниевые пластины 150, 200 или 300 мм: как выбрать
КраткоДиаметр определяется оборудованием — пластины разных диаметров не взаимозаменяемы. 150 мм применяют для силовых, дискретных приборов и датчиков; 200 мм — для аналоговых схем, управления питанием и МЭМС; 300 мм — для памяти и логики. В России большинство линий работают со 150 и 200 мм.
Чем различаются диаметры?
| Параметр | 150 мм (6″) | 200 мм (8″) | 300 мм (12″) |
|---|---|---|---|
| Толщина по SEMI | 675 ± 20 мкм | 725 ± 20 мкм | 775 ± 20 мкм |
| Ориентирующий элемент | базовый срез | notch | notch |
| Применение | силовые, дискретные, датчики | аналоговые, питание, МЭМС | память, логика, фотоприёмники |
| Упаковка | кассета на 25 шт. | кассета на 25 шт. | FOSB на 25 шт. |
Сначала проверьте, с каким диаметром совместимы носители и манипуляторы оборудования, затем — технологический маршрут и стоимость кристалла.
Какие диаметры используют в России?
В основном 150 и 200 мм. Пластины 300 мм нужны прежде всего исследовательским центрам, производителям оборудования и для калибровки — как тестовые и мониторные.
Что указать в запросе?
Кроме диаметра — толщину и допуск, ориентирующий элемент, ориентацию, тип и примесь, сопротивление и применение. Подробнее: чек-лист запроса.
Вопросы
Можно ли использовать 200 мм вместо 150 мм?
Нет: толщина, ориентирующие элементы и кромка не соответствуют 150 мм.
Можно заказать 300 мм?
Тестовые и мониторные — по запросу; prime — после подтверждения возможности поставки.